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半導(dǎo)體廢氣處理

返回列表 瀏覽:- 發(fā)布日期:2021-03-29 10:32:33【

一、半導(dǎo)廢氣處理成份

半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要成分為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類成分:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等,酸堿類成分:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

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二、行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)

 

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三、半導(dǎo)體廢氣處理方法

一般導(dǎo)體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下:

(1)預(yù)處理階段:采用噴淋塔先對廢進(jìn)行預(yù)處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。

(2)主要處理階段:在此階段,比較常見而有效方法有:UV光解,生物過濾分解,焚燒和催化燃燒等。

由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分、風(fēng)量大小、廢氣濃度不同,所以采用的半導(dǎo)體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結(jié)合使用,具體處理方案可以咨詢我們,我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案。

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